1 拼音
sì fú jiǎ wán
2 英文参考
tetrafluoromethane
carbon tetrafluoride
3 国标编号
22033
4 CAS号
75-73-0
5 中文名称
四氟甲烷
6 英文名称
tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride
7 别名
R14；四氟化碳
8 分子式
CF4
9 外观与性状
无色无臭气体
10 分子量
88.01
11 蒸汽压
13.33kPa（15.07℃）
12 熔点
-183.6℃
13 沸点
-128.0℃
14 溶解性
不溶于水
15 密度
相对密度（水=1）1.61（-130℃）
16 稳定性
稳定
17 危险标记
5（不燃气体）
18 主要用途
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干 法蚀刻技术
19 健康危害
侵入途径：吸入。
健康危害：能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
20 毒理学资料及环境行为
毒性：属低毒类。
急性毒性：大鼠吸入90%（充氧）×15分钟，近似致死浓度；大鼠吸入895000ppm×15分钟，最小致死浓度
危险特性：不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
燃烧（分解）产物：氟化氢。
21 实验室监测方法
气相色谱法
22 泄漏应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
23 防护措施
呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。
眼睛防护：一般不需特殊防护。
身体防护：穿一般作业工作服。
手防护：戴一般作业防护手套。
其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。
24 急救措施
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
灭火方法：本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。